压电石英亚表面损伤层分析

作者：李世岚; 包生祥; 马丽丽; 彭晶; 杜支波; 周勋

来源：压电与声光, 2008, (02): 246-247.

• 压电石英
• 化学机械抛光
• 亚表面损伤 piezoelectricity quartz
• chemical-mechanical polishing
• sub-surface damage

压电石英基片在加工过程中会带来表面/亚表面损伤,这种损伤会直接影响电子器件的性能、稳定性及寿命。该文采用扫描电镜(SEM)观测与X-射线双晶回摆曲线检测化学腐蚀逐层剥离深度相结合的方法,定量分析了36°AT切压电石英基片亚表面损伤层厚度,并探讨了亚表面损伤层的形成原因及对器件性能的影响。

• 单位
  电子薄膜与集成器件国家重点实验室; 电子科技大学