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摘要
本发明薄膜太阳能电池制备技术领域,公开了一种制备用于太阳能电池窗口层的CdS薄膜的方法,包括以下步骤：步骤1：利用超声波仪器和化学洗剂将浮法玻璃表面清洗干净,并利用氢氟酸刻蚀法去除其表面的氧化层；步骤2：将清洗干净的浮法玻璃放入沉积设备中,沉积透明电极层；步骤3：将沉积了透明电极层的基片用化学试剂超声清洗；步骤4：将清洗干净的基片放入生长设备中,生长CdS薄膜,完成太阳能电池CdS窗口层的制备。利用本发明,提高了器件的性能,可以利用该CdS薄膜制备大面积、低成本的太阳电池及其他光学器件,使CdS薄膜中杂质浓度降低,增强了CdS薄膜的质量。
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