摘要
针对目前电光调制器插入损耗高的问题,提出了一种基于宽度调制(WM)型谐振腔的光子晶体电光调制器。该器件由输入端纳米线波导、硅基光子晶体波导和WM型谐振腔组成,前二者的连接处采用锥形结构,用于减少2种波导之间的级联损耗。根据时域耦合模理论与等离子体色散效应,采用WM型谐振腔和PN掺杂结构实现对横电(TE)模的调制,并应用二维时域有限差分法对其性能进行仿真分析。仿真结果表明:该器件在调制电压为1. 24 V时可以实现中心波长为1553. 91 nm的TE模窄带通断调制功能;在工作波长为1550~1560 nm时的插入损耗为0. 16 d B,消光比为19. 73 d B,调制深度为0. 9894,Q值达1. 5×104,尺寸约为20μm×9μm。
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