全球光刻机发展概况以及光刻机装备国产化

作者：张霞; 刘宏波; 顾文; 周细应; 于治水

来源：无线互联科技, 2018, 15(19): 110-111+118.

• 光刻
• 光刻设备
• 装备
• 国产化

文章以光刻原理为引子,介绍光刻设备的系统结构,解读光刻机行业的发展概况,重点介绍光刻机装备国产化的发展之路,最后,文章提出中国半导体装备业国产化的顶层设计框架。

• 单位
  上海工程技术大学