摘要

为改善氮化硅陶瓷的热导率和抗热震性能,以d_(50)=0.5 μm的α-Si_(3)N_(4)为原料,AlN(d_(50)=1 μm)为添加剂,Y_(2)O_(3)和MgO(d_(50)=5 μm,d_(50)=10 μm)为烧结助剂,利用无压烧结法制备了氮化硅陶瓷,研究了AlN添加量(w)分别为0、5%、10%、15%和20%时对氮化硅陶瓷试样显微结构和性能的影响。结果表明,AlN促进了氮化硅陶瓷中α-SiAlON相和β-SiAlON相的生成,并随着AlN含量的增加,部分β-SiAlON相向α-SiAlON相转变。此外,氮化硅陶瓷的相对密度、热导率和抗热震性能随着AlN含量的增加先升高后降低;当AlN含量为15%(w)时,氮化硅陶瓷的综合性能最佳,相对密度为97.14%,热导率为39.1 W·(m·K)~(-1),热震残余强度为224 MPa。