MEMS惯性测量组合失效分析

作者：柳华光; 张魁; 黄杰

来源：电子质量, 2018, (12): 32-46.

• MEMS
• 故障树
• 失效分析

MEMS惯性测量组合是制导系统的关键部件,其失效将给整个系统带来严重的后果。针对某一MEMS惯性测量组合的失效现象,列出失效故障树,准确地定位了失效部位,最后分析了其失效原因。对分析过程进行了详细描述,以期对同类产品开展失效分析工作提供借鉴作用。