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摘要
划痕是光学玻璃常见的缺陷问题，它会导致光束质量下降、光学玻璃热效应增强、抗激光损伤性能降低等，所以在加工过程中需要对其进行准确检测和表征。本文选取划痕深度值为70nm的光学玻璃为检测样本，采用光干涉法通过光波加载光学玻璃划痕信息，接着对干涉条纹图像进行图像处理和边缘检测，进而获取划痕的实际深度值。实验证明，光干涉法测量光学玻璃划痕深度值为70nm时，其相对误差低于1%。该方法为光学玻璃加工过程中发现数十纳米级的划痕深度值提供了一种检测手段。
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单位重庆理工大学; 成都光明光电股份有限公司
