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摘要
随着石墨烯材料的发现，二维材料被人们广泛认识并逐渐应用，相比于传统二维材料，二维过渡金属碳化物（MXene）的力学、磁学和电学性能更加优异。本文分别利用HF溶液和LiF/HCl溶液刻蚀Ti3AlC2获得了Ti3C2Tx样品，通过电子扫描显微镜（SEM）、X射线光电子能谱（XPS）和气敏特性分析，研究了刻蚀剂对Ti3C2Tx材料结构和气敏性能的影响。材料结构分析表明：HF和LiF/HCl刻蚀剂均对Ti3C2Tx材料具有良好的刻蚀效果；气敏性能结果表明：LiF/HCl刻蚀剂制备的Ti3C2Tx的气敏性能优于HF刻蚀剂，并实现了室温下宽范围、较高灵敏和较高稳定地检测NH3。分析认为：LiF/HCl溶液刻蚀制备的Ti3C2Tx材料表面具有较高比例的-O和-OH官能团，是其高传感性能的主要原因。本实验研究可为Ti3C2Tx基传感器件的气敏研究和实际应用奠定一定的理论基础。
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