一种阻变存储器及其制备方法

作者:高海霞; 郭静姝; 姜鹏飞; 张真斐; 蒋欣孜
来源:2019-05-30, 中国, ZL201910465345.7.

摘要

本发明公开了一种阻变存储器及其制备方法,所述阻变存储器的制备方法包括:选择衬底层;在所述衬底层上生长第一电极;在所述第一电极上生长阻变层;在所述阻变层上生长若干第二电极;将一侧的所述阻变层、所述第二电极刻蚀掉直至漏出所述第一电极,以完成所述阻变存储器的制备。本发明在阻变存储器制备中通过为阻变层选择适当的掺杂剂,使得阻变存储器的存储窗口增大的同时阻变存储器还具有forming-free特性。