尘埃粒子计数器校准系统的建立及其技术要点

作者：李松; 冯少波; 冯可荣

来源：中国计量, 2014, (04): 98-100.

DOI：10.16569/j.cnki.cn11-3720/t.2014.04.042

• 尘埃粒子计数器
• 分析仪
• 校准装置
• 粒径分布
• 校准系统
• 气溶胶粒子

<正>一、前言尘埃粒子计数器是粒度分析仪的一种,用于对洁净环境(如微电子车间的洁净厂房、医院的洁净手术间等)中的尘埃粒子的粒径分布及粒子数目进行检测。目前,校准尘埃粒子计数器依据的计量技术法规是JJF1190-2008《尘埃粒子计数器校准规范》。笔者以JJF1190-2008要求为依据,重点对气溶胶发生装置进行深入研究,探讨了洁净环境、干燥系统、分配和混合罐,以及静电对气溶胶发生装置的影响,针对目前气

• 单位
  广西壮族自治区计量检测研究院