铥激光器腔镜用高损伤阈值氧化物薄膜的研制

作者：赵阳; 何宇; 焦宏飞; 张锦龙; 程鑫彬; 刘华松; 李刚正; 吴晓鸣

来源：红外与激光工程, 2016, 45(05): 126-131.

• 氧化物薄膜
• 2μm波段
• 激光损伤

2μm波段激光器在环境探测、测风雷达、生物组织切割、光电对抗等领域都有重要的应用价值和前景。而此波段的薄膜通常采用折射率较高的硫化物、砷化物等软膜材料来制备,为了提升该波段薄膜的损伤性能,采用折射率相对较低但能带隙更宽的氧化物材料来制备。利用傅里叶红外光谱仪和弱吸收测试仪分析表征了薄膜中OH基含量的多少和薄膜整体吸收的大小,通过优化工艺,成功制备出了满足2 020 nm的铥(Tm)激光器使用要求的多层介质薄膜。利用微分干涉显微镜观察了经过激光损伤测试薄膜的损伤形貌,结合薄膜中电场分布和应力测试结果,分析探讨了此薄膜的损伤机理,提出进一步优化薄膜损伤特性的方案。

• 单位
  中航工业洛阳电光设备研究所; 同济大学; 天津津航技术物理研究所