室温脉冲激光沉积法合成Bi3.95Er0.05Ti3O12薄膜及其介电性能研究

作者：梁立容; 魏爱香; 莫忠

来源：中国激光, 2018, 45(09): 218-222.

• 激光技术
• 薄膜
• 脉冲激光沉积
• 室温
• 介电性能

采用脉冲激光沉积法,室温条件下在透明导电玻璃衬底上制备了Bi3.95Er0.05Ti3O12(BErT)薄膜。研究结果表明,低沉积氧气压下制备的BErT薄膜表面致密,平整无裂缝,且呈非晶结构;当沉积氧气压为3Pa时,BErT薄膜厚度约为180nm,表现出优秀的介电性能,即当测试频率为1kHz时,室温介电常数为52,介电损耗为0.025。同时,BErT薄膜的介电性能随频率、电压和温度的变化比较稳定,在可见光区间具有较高的透过率。

• 单位
  中山大学新华学院