谐振式微加速度传感器的有限元分析(英文)

作者：陈健; 陈德勇

来源：传感技术学报, 2007, (01): 96-100.

• 微机械电子系统
• 谐振式微加速度传感器
• 有限元模拟
• 非完全匹配的双端固定音叉 MEMS
• resonant microaccelerometer
• FEA simulation
• not perfectly matched DETF

有限元分析用来评估一种新颖的谐振微加速度传感器,仔细分析新结构的几个主要振动模态,优化结构参数,证实这种硅基谐振式微加速度传感器的灵敏度高于1 000 Hz/gn.而且在有限元分析的基础上对实际制造的非完全匹配的双端固定音叉的特点和对于测量的不良影响进行分析.

• 单位
  中国科学院电子学研究所; 传感技术国家重点实验室