可望用于多晶硅还原炉内壁的抗氧化高反射镀层的研究进展

作者：李文强; 王露露; 刘新宽; 王琪

来源：电镀与涂饰, 2017, 36(16): 894-898.

DOI：10.19289/j.1004-227x.2017.16.011

• 多晶硅
• 反射
• 抗氧化
• 电镀金
• 热浸镀铝
• 镍基合金
• 氮化钛

从用作多晶硅还原炉内壁抗氧化、高反射镀层的角度出发,综述了贵金属镀层(包括金和银)、热浸镀铝层、镍基合金与镍基复合镀层,以及物理气相沉积TiN基镀层的反射率和抗高温氧化性能,分析了它们的优缺点,指出了目前存在的问题。

• 单位
  上海理工大学; 黄河水电光伏产业技术有限公司