基于SAW技术的压力传感器设计研究

作者：包宋建; 陈文波; 杨文耀

来源：西南师范大学学报(自然科学版), 2020, 45(11): 66-72.

DOI：10.13718/j.cnki.xsxb.2020.11.010

• SAW技术
• 相位差
• 中心频率
• 叉指换能器
• 压电基片

将声表面波(SAW)传感原理引入无源无线压力传感器设计,以新型材料硅酸镓镧作为压电基片材料,将2个反射栅的相位差作为压力传感器的输出信号,从而部分消除了环境温度变化带来的影响.设计较高的声表器件中心频率(433.92 MHz附近),从而提高了传感器的灵敏度.叉指换能器(IDT)的叉指对数设计既满足抑制旁瓣的要求,又满足声表面波激发能量的要求.对SAW压力传感器件的结构进行理论分析,采用计算机软件进行了建模和仿真.实验结果表明:以新型材料作为基片,以相位差作为输出信号,以433.92 MHz作为中心频率,并选择合适的叉指对数设计的压力传感器具有温度性能好、灵敏度高、测量误差小和压力相位差特性好的优点.

• 单位
  重庆文理学院