一种投影光刻莫尔对准装置及方法

作者：李天; 周绍林; 陈志坚; 李斌

来源：2022-09-30, 中国, CN202211207341.7.

本发明公开了一种投影光刻莫尔对准装置及,其中装置包括：照明系统、掩模标记、光刻投影物镜、对准标记、DMD空间调制器、CCD相机和传感器运动台；照明系统发射光线,光线穿过掩模标记后,经过光刻投影物镜形成空间像；通过控制传感器运动台的移动寻找空间像的位置,以使经过对准标记的光线产生衍射,形成莫尔条纹；莫尔条纹到达DMD空间调制器,进行编码；编码后的莫尔条纹到达CCD相机,根据采集获得的光强信息重构莫尔条纹；根据重构的莫尔条纹获取理想成像与实际成像的位置偏差,将位置偏差量反馈回传感器运动台进行修正,实现对准。本发明无需空间滤波片,光学系统更为简单,降低了硬件成本,可广泛应用于光学精密检测技术领域。

• 单位
  华南理工大学