一种金属掺杂二硫化钼耐高温复合薄膜及其制备方法

作者：苏峰华; 刘勇; 孙建芳

来源：2022-03-31, 中国, ZL202210335728.4.

本发明公开了一种金属掺杂二硫化钼耐高温复合薄膜及其制备方法。所述金属掺杂二硫化钼耐高温复合薄膜是利用多靶共溅射的方式制备,先在基底上沉积一层Cr过渡层,然后通过共溅射Cr靶和MoS-2-Ag镶嵌复合靶沉积MoS-2-Cr-Ag复合薄膜。所述金属掺杂二硫化钼耐高温复合薄膜掺杂有Cr元素和Ag元素,薄膜总厚度为1.90～3.6μm。本发明还公开了该复合薄膜的制备方法。该金属掺杂二硫化钼耐高温复合薄膜在高温环境下的耐磨性能好,薄膜中金属掺杂含量容易控制且工艺简单。

• 单位
  华南理工大学