石英微机械陀螺敏感芯片的抗振动分析与改进

作者：李文蕴; 林日乐; 满欣

来源：压电与声光, 2015, 37(04): 554-557.

• 石英微机械
• 陀螺
• 随机振动
• 有限元

石英微机械陀螺是振动惯性器件,而陀螺敏感芯片结构的抗振动能力会直接影响陀螺的性能。由于工作环境的振动会对陀螺的性能产生一定的影响,因此需提高陀螺敏感芯片结构的抗振动能力。该文利用有限元仿真软件对敏感芯片结构进行随机振动仿真分析,通过对敏感芯片结构的优化,提高了陀螺的抗振动能力。

• 单位
  中国电子科技集团公司第二十六研究所