M5211-6-UM型立式硼扩散设备研制

作者：吴志明; 郭浩; 赵志然

来源：有色设备, 2023, 37(03): 21-24.

DOI：10.19611/j.cnki.cn11-2919/tg.2023.03.004

• 硼扩散
• 石英舟
• 方阻均匀性

M5211-6-UM型立式硼扩散炉用于晶体硅太阳能电池片硼扩散工艺，具有全自动化、高产能、低能耗、维护便捷等特点。本文介绍了该型号设备的结构组成及性能，给出了能耗和工艺结果，结果表明该设备各方面性能已达到国内领先水平，具备产业化条件。

• 单位
  湖南红太阳光电科技有限公司