晶圆级传输线脉冲测试方法

作者：邹巧云; 姜汝栋

来源：电子与封装, 2015, 15(01): 10-13.

DOI：10.16257/j.cnki.1681-1070.2015.0003

• 传输线脉冲
• 测试方法
• 晶圆级

随着晶圆测试技术的发展,晶圆级传输线脉冲(TLP)测试逐渐由封装级向晶圆级转移,晶圆级TLP测试的出现不仅降低了设计成本,同时大大缩短了ESD保护结构的评价周期。针对晶圆级TLP测试方法尚无标准可依的现实情况,结合理论推导过程,从线路搭建、设备校准、结果确认等关键点探索可行而有效的晶圆级TLP测试方法。

• 单位
  中国电子科技集团公司