传统方法对芯片表面缺陷检测,存在检测准确性低,检测速度慢的问题,针对上述问题,设计了一种基于图像处理的芯片表面缺陷检测系统,该系统分为3个部分,第一部分,对图像进行预处理,包括去除噪声和图像增强,第二部分,芯片位置检测和芯片缺陷的边缘提取,第三对芯片的表面缺陷进行区域分割和缺陷区域的像素测量。结果表明:本系统成功实现了芯片表面的缺陷检测,检测效率是人工检测的20多倍。
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