基于椭圆光斑的离轴微位移计量

作者：梁宜勇; 孙戎; 杨国光

来源：计量学报, 2005, (02): 135-137.

• 计量学
• 椭圆光斑
• 离轴法
• 微位移
• 调焦 Metrology
• Elliptic spot
• Off-axis method
• Micro-displacement
• Focusing

提出一种基于离轴法并采用椭圆光斑的光学微位移计量手段。模拟分析给出了椭圆光斑在线性度、灵敏度和动态范围等方面对探测性能带来的影响。基于这一微位移计量原理,在激光直写设备上制作了具有实用价值的圆光栅,这也表明半导体激光器可以取代传统的氦氖激光器并无需光斑整形。