平面型铟镓砷红外探测器八元线列的制备与性能分析

作者：吴小利; 张可锋; 唐恒敬; 李雪; 龚海梅

来源：红外与激光工程, 2008, (03): 436-439.

• In0.53Ga0.47As探测器
• 平面型
• 探测率
• I-V曲线 In0.53Ga0.47As detector
• Planar
• Detectivity
• I-V curve

由于具有高探测率、高可靠性以及可室温工作等特点,InGaAs红外探测器在航天遥感领域具有重要的应用,而平面型的InGaAs红外探测器是国际主流的结构,但是国内这一方面的研究却刚刚起步,文中通过闭管锌扩散方式制备了平面型In0.53Ga0.47As红外探测器八元线列,测试了器件的伏安特性,得到器件的暗电流在零偏压下平均值为6.5pA,-500mV下为18.2pA,并且通过对器件信号、噪声以及响应光谱的测试得到器件的峰值响应率,其平均值为8.11×1011cm·Hz1/2·W-1,不均匀性为4.69%。通过器件的优值因子R0A计算了器件理论峰值响应率,结果表明:理论峰值响应率平均值高于测试值,且不...

• 单位
  中国科学院研究生院; 中国科学院上海技术物理研究所; 传感技术国家重点实验室