RbN3分解时间对原子气室吸收光谱的影响

作者：刘雅丽; 李维^*; 李昱东; 李小宽; 冯梁森; 李新良

来源：计测技术, 2023, 43(04): 146-152.

• 原子气室
• 吸收光谱
• 叠氮化铷
• 半高宽
• 频移

为了解决原子气室制备过程中碱金属原子定量填充难、稳定性差等问题，首先采用微电子机械系统(Micro-Electro-Mechanical System,MEMS)技术，结合碱金属叠氮化物的光分解方法，通过深硅刻蚀、RbN3溶液定量填充、两次阳极键合、紫外光辐照等工艺成功制备出不同RbN3分解时间的原子气室，然后采用自行搭建的吸收光谱测试装置对不同RbN3分解时间的原子气室进行测试，研究不同RbN3分解时间对原子气室内Rb原子吸收峰强度、半高宽和频移的影响。实验结合理论分析发现：RbN3分解时间为3.5 h时，Rb原子吸收峰强度最大，能够满足高质量原子气室制备的要求，为高质量原子气室的制备提供了重要技术借鉴，为推动基于MEMS原子气室的芯片化计量测试传感技术的发展奠定基础。

• 单位
  中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所