氮化铝基板上厚膜电阻性能分析

作者：郝沄; 李创; 吴鑫; 袁海; 任英哲; 杨春燕

来源：电子工艺技术, 2021, 42(02): 78-87.

DOI：10.14176/j.issn.1001-3474.2021.02.005

• AlN
• 厚膜电阻
• 电阻设计
• 温度系数
• 阻值稳定性

在AlN基板上,使用IKTS电阻浆料制作了4种方阻的厚膜电阻,确定了AlN基板用电阻的阻值与设计方数的关系,推算出了不同方数下的电阻设计比例。测试了电阻的温度系数,测量结果均小于150×10-6/℃。使用激光调值机对4种方阻的电阻进行调值,经150 ℃、1 000 h高温存储,阻值变化率<1.5%。

• 单位
  西安微电子技术研究所