VAlSiN硬质涂层的结构与机械性能

作者：李栋; 孟凡平; 薛群基; 黄峰

来源：表面技术, 2014, 43(03): 59-63.

DOI：10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2014.03.018

• VAlSiN硬质涂层
• Si掺入
• 机械性能

目的研究Si的掺入对VAlN硬质涂层机械性能的影响行为。方法利用双靶(V50Al50靶与Si靶)磁控溅射沉积技术,保持V50Al50靶的功率为一定值,通过控制Si靶的功率,获得Si含量不同的VAlSiN硬质涂层,分析涂层的成分、相组成、硬度及耐磨损性能。结果 Si在涂层中以Si3N4非晶相存在,Si3N4起到细化晶粒的作用,少量Si的掺入可使涂层的硬度与耐磨性能得到提升。但当Si大量掺入后,Si3N4非晶相成为涂层中的主相,导致涂层的硬度与耐磨性能出现下降。结论少量Si的掺入有益于VAlN涂层机械性能的提升。

• 单位
  中国科学院宁波材料技术与工程研究所