科研之友
微信
新浪微博
Facebook
分享链接
摘要
为了实现红外光学微结构表面的高效、高精度、低损伤加工，提出了一种超精密自适应飞刀切削方法，并进行了实验验证。根据飞刀切削的运动学特性，建立了飞刀切削塑性加工模型。以最大切屑厚度始终小于脆塑转变临界为原则，根据微结构表面的局部形貌特征，采用迭代算法规划出具有动态变化进给速度的刀具轨迹。最后，将所提出方法与传统飞刀切削方法进行对比实验，验证了所提出自适应飞刀切削方法的有效性。通过实验成功在单晶硅材料上加工了无脆性断裂的微沟槽，表面粗糙度达到18 nm。与传统飞刀切削方法相比，超精密自适应飞刀切削方法在不降低进给速度的前提下，避免了脆性断裂，加工效率是传统方法的2.5倍。
- 单位
