本发明提供了一种紧凑型热网络模型的热解耦边界条件的确定方法,属于半导体制造技术领域。包括建立紧凑型热网络模型状态空间方程、求解所需传递函数、求解耦合系数、建立热解耦边界条件表达式等多个步骤。该发明给出紧凑型热网络模型的热解耦边界条件的确定方法,并通过热解耦边界条件判断能否将紧凑型热网络模型简化为独立的热网络模型,进而在保证计算精度的同时,提高热网络模型计算效率。
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