复杂集成电路的老化技术与产业状况分析

作者：张鹏伟; 周金钊; 马培元

来源：集成电路应用, 2023, 40(11): 408-409.

DOI：10.19339/j.issn.1674-2583.2023.11.188

• 集成电路筛选
• 军标器件
• 功能测试
• 新型结构

阐述军标高端复杂集成电路老化设备的特点，器件老化设备的技术和产业发展现状，探讨集成电路老化设备的发展趋势和应对策略，包括高主频及高速接口、全过程功能测试、器件的新型结构。

• 单位
  北京微电子技术研究所