为实现多晶硅废料的绿色高效回收利用,以多晶硅切削废料为硅源,通过水解法制备硅溶胶。探讨了不同碱性水解剂的水解性能,并系统地研究了硅溶胶的最佳合成工艺。实验结果表明:以浓度为1. 36 mol/L的氨水为水解剂,氨水溶液和多晶硅废料的质量比为240∶1时,经150℃水热处理5 h,能够得到近球形形貌、平均粒径约为80 nm左右的硅溶胶,静置10 d,未发生凝胶现象,表现出良好的稳定性。为多晶硅废料的资源再利用提供了一种可行性路线。