湿电子化学品之刻蚀液领域技术发展现状

作者：秦圆圆^*

来源：化工管理, 2022, (16): 95-98.

DOI：10.19900/j.cnki.ISSN1008-4800.2022.16.025

• 刻蚀液
• 湿电子化学品
• 集成电路
• 显示面板
• 太阳能电池

刻蚀液是功能性湿电子化学品中的一种，在集成电路、显示面板、太阳能电池等制程中均涉及，文章从刻蚀液专利申请量、申请人分布等方面分析了刻蚀液全球专利申请情况，并且基于刻蚀液的研发角度，从显示面板、集成电路、太阳能电池三个方面分析了刻蚀液的技术发展脉络。

• 单位
  国家知识产权局