结合多光束光学应力传感器与改进的Canny算法求曲率半径的方法研究

作者：周陈昊; 凌晓; 杨连乔; 张建华^*

来源：电子测量与仪器学报, 2022, 36(07): 82-90.

DOI：10.13382/j.jemi.B2105064

• 光束间距
• 薄膜曲率
• 边缘检测
• 椭圆拟合

利用多光束光学应力传感器(MOSS)求薄膜曲率需要测量出光束在反射前后的间距，根据相邻入射(折射)光束间距即可计算出薄膜的曲率半径。光束的间距可由接收到的光斑中心点确定。提取光斑的中心点主要利用Canny边缘检测算法和椭圆拟合算法。用CMOS传感器得到的光斑阵列图像，在光斑周围参杂有很大的椒盐噪声，对于传统的Canny算法，无法准确的检测出光斑的边缘。利用一种改进的Canny边缘检测算法，可有效的消除光斑周围的噪声，并较好的保留光斑边缘。最后利用椭圆拟合算法对边缘进行拟合，求得光斑阵列的所有中心点。实验最后选用标准件进行验证，用测得的间距算出曲率半径与实际进行对比，误差结果在2%～4%,证明该方法可行。

• 单位
  上海大学