中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所

来源：高科技与产业化, 2011, (12): 80-85.

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<正>纳米加工平台纳米加工平台于2009年1月起正式对外服务,它是利用微纳米尺度的加工手段进行电子、光电子器件、微纳光机电系统、生物芯片和各种传感器开发的技术支撑体系。作为中国科学院、江苏省和苏州市的公共服务体系,加工平台既为研究院所和大学的科研开发活动提供服务,也为企业的纳米技术研究和产品开发提供全方位的开放服务。同时,平台为企业培养纳米技术人才。平台目标是建成具有国际先进水平的、面向国内外开放的纳米科学研究和成果转化的公共技术平台。