金铝键合高温可靠性提升方法研究

作者：田**; 王钢荣; 李真; 张丽巍; 王姝雁

来源：环境技术, 2022, S1: 13-16.

• 引线键合
• 金属间化合物
• 柯肯达尔效应
• 高温储存

本文简要介绍了金铝键合的失效机理及可靠性提升办法，采用化学腐蚀的方式明确了键合参数对键合界面金属间化合物层均匀性影响的主次关系，验证了优化后参数加工样品的300℃高温可靠性，为金铝键合可靠性提升提供了科学依据。

• 单位
  中国电子科技集团公司第二十四研究所