微机电系统(MEMS)驱动器由于其尺寸特性和工艺特点，微小的变差也会对其整体性能的稳定性产生较大影响。将稳健设计理论与方法引入到微驱动器的设计中具有重要的意义。以一种压电式MEMS驱动器为例，分析其结构及原理，对其进行随机模型的稳健设计。通过开发相应算法程序得到稳健设计解。对比原始设计与稳健设计的结果，验证当设计变量及噪声因素存在变差时，稳健设计结果仍可以保持该驱动器的质量稳定性。
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