基于多孔氧化铝和单原子沉积技术的颜色调控方法研究

作者：王旭龙琦; 张冬仙; 章海军

来源：Acta Physica Sinica, 2011, (05): 772-777.

• 多孔氧化铝
• 颜色调控
• 单原子沉积 porous alumina
• color modulation
• atomic layer deposition

本文通过建立多孔氧化铝(porous alumina,PA)的物理模型及理论分析,提出与发展了一种基于PA和单原子沉积(atomic layer deposition,ALD)技术的颜色调控新方法.以实验制备的PA样品为原型,对孔径相同、孔中心距相同但孔深不同的一系列PA模板进行了颜色调控的仿真,揭示了调控色随孔深变化的规律;通过控制在草酸溶液中的阳极氧化时间,实验制备出平均孔径40nm、平均孔中心距100nm、孔深分别为296nm和373nm的两个PA样品;之后采用ALD技术在它们表面均沉积一层膜厚为16.8nm的Fe2O3薄膜;在白光照射下,可观察到这两个经ALD沉积后的PA样品呈现出不同...

• 单位
  现代光学仪器国家重点实验室; 浙江大学