厚度对溶胶-凝胶法制备BaTi0.99Fe0.01O3薄膜的结构及电性能研究

作者：黄玲; 郑博; 孙琳琳

来源：中国陶瓷, 2023, 59(09): 28-32.

DOI：10.16521/j.cnki.issn.1001-9642.2023.09.004

• BFTO薄膜
• 厚度
• 电性能

采用溶胶-凝胶法制备在Pt/Ti/SiO2/(100)Si基片上不同厚度的BaTi0.99Fe0.01O3(BFTO)薄膜，研究了不同薄膜厚度对BFTO薄膜的晶体结构、介电和铁电性能的影响。在薄膜厚度低于370 nm时，BFTO薄膜呈现四方相结构，而随着厚度进一步增加，薄膜的四方性降低。随着厚度的增加，有利于提高薄膜的介电常数，而铁电性能逐渐降低。在厚度为370 nm时，薄膜具有良好的铁电性能和较低的漏电流，剩余极化Pr为12μC/cm2，漏电流密度为2.4×10-6 A/cm2。

• 单位
  西京学院; 渭南师范学院