电子化学品制程系统设计

作者:徐金伟
来源:全面腐蚀控制, 2019, 33(01): 44-95.
DOI:10.13726/j.cnki.11-2706/tq.2019.01.044.03

摘要

集成电路技术革新,对化学品等级要求越来越高,我们通过正确的选型,优化的设计,以及自动化控制,设计建造化学品生产系统,协助国产化学品厂商进口替代。

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