采用多弧离子镀膜法制备了Zr N单层膜和不同调制比的Zr/Zr N多层膜，研究了调制比对多层膜力学性能的影响。利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜和微米压痕仪分别测试了薄膜的物相结构、表面形貌、硬度和结合力。结果表明：多层膜中Zr N有较高的结晶度，膜层表面形貌平整，组织结构致密，分布有球状Zr颗粒；Zr/Zr N多层膜的硬度高于单层Zr N薄膜，并随着调制比的增加先增大后减小，调制比为1∶1时，Zr/Zr N多层膜的硬度达到1541.58Hv，结合力为51.61N。
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