多晶硅碳含量对产品质量的影响及处理工艺

作者：阮继政

来源：中国石油和化工标准与质量, 2019, 39(09): 29-30.

• 多晶硅
• 碳含量
• 品质
• 处理工艺

多晶硅一般采取改良西门子法技术方法生产,其产品质量对电子器件使用性能以及转换电池效率造成影响。为了解决生产多晶硅过程中含碳量较高等问题,本文分析、探索了碳的主要来源、影响因素及控制方法。

• 单位
  江苏中能硅业科技发展有限公司