摘要
根据弹性理论和多晶膜的屈服强度公式 ,计算了附着在基体上体心立方多晶薄膜中不同取向晶粒中的应变能密度 .结果表明 :1)在屈服之前 ,对Fe和Ta两种薄膜 ,4个最小的应变能密度对应的晶粒取向依次为 (10 0 ) ,(5 10 ) ,(4 10 )和 (5 11) ;对Cr,Mo ,Nb和V四种薄膜 ,4个最小的应变能密度对应的晶粒取向依次为 (111) ,(332 ) ,(32 2 )和(2 2 1) ;对W膜 ,应变能密度与晶粒取向无关 .2 )在屈服的体心立方多晶膜中 ,4个最小的应变能密度对应的晶粒取向依次为 (10 0 ) ,(111) ,(110 )和 (4 11) .从应变能的...
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