平面光栅衍射效率测试系统

作者：于宏柱

来源：长春工业大学学报, 2018, 39(05): 499-504.

DOI：10.15923/j.cnki.cn22-1382/t.2018.5.15

• 平面光栅
• 衍射效率
• 光线追迹

采用双CT结构以及光路追迹的优化光路系统,将光斑自动调整与三轴转台结合实现不同规格待测光栅的自动装调。实验结果表明,测量重复性误差小于2%。

• 单位
  中国科学院长春光学精密机械与物理研究所