管式PECVD镀膜均匀性的研究

作者：杨飞飞; 张雁东; 崔龙辉

来源：山西能源学院学报, 2019, 32(04): 100-102.

• PECVD
• 电池片
• 镀膜
• 石墨舟

本文主要研究管式PECVD后期使用中的镀膜均匀性问题,通过对镀膜沉积的工艺条件、石墨舟饱和工艺参数的分析研究,找出最优的沉积条件与参数,经过改善后,电池片镀膜整体质量有很大提升,片内与片间镀膜颜色的一致性得到保障。