电容式微波功率检测系统的灵敏度特性研究

作者：李龙飞; 胡加杨; 李方清; 王德波^*

来源：微电子学, 2020, 50(03): 433-438.

DOI：10.13911/j.cnki.1004-3365.190393

• MEMS
• 悬臂梁
• 力学特性
• 灵敏度
• 解析模型

为了提高电容式微波功率检测系统的综合性能,首先建立了MEMS悬臂梁的力学解析模型,研究了MEMS悬臂梁在静电力与弹性力综合作用下的运动规律,并建立了灵敏度的解析模型。研究结果表明,灵敏度主要受悬臂梁至下拉极板的初始间距、梁板长度影响。其中,灵敏度与间距成反相关关系,与梁板长度成正相关关系。在34～36 GHz的Ka波段内,根据力学解析模型和灵敏度模型,灵敏度的仿真结果分别为4.4 fF/W@34 GHz、4.1 fF/W@35 GHz、3.7 fF/W@36 GHz,实验测试结果分别为5.0 fF/W@34 GHz、4.5 fF/W@35 GHz、4.0 fF/W@36 GHz。灵敏度的仿真结果与测试结果比较吻合,这对改善电容式微波功率检测系统的综合性能具有一定的指导意义。

• 单位
  南京邮电大学