本发明公开了一种降低残余应力的回火方法,依次进行升温、保温和冷却,升温包括两个阶段,第一个阶段为高速升温阶段,将待回火材料或零件由室温快速加热至温度T1,材料或零件的尺寸越大温度T1越高,第二个阶段为低速升温阶段,将待回火材料或零件由温度T1缓慢加热至设定的回火温度进行保温。本方法增强了回火对残余应力的调控效果,抑制了回火过程新生残余应力的形成,同时有助于提高材料的强韧性。