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摘要
本发明属于仪器仪表领域,具体涉及一种大高径比微米级结构的刚度测量方法及其系统。测量方法步骤如下：S1：将待测微结构的样品固定在水平的测试台上,并在样品的上方设置一根可测形变量和/或横向压应力的竖直的应变探针。S2：移动应变探针至与待测微结构侧壁刚好接触的位置。S3：将应变探针向待测微结构移动,测量待测微结构的形变量,以及应变探针对应的形变量或横向压应力。S4：基于上步骤的检测结果计算各时刻对应的微柱刚度。S5：基于获取的数据拟合出一个用于表征微柱刚度变化的测试函数。S6；将测试函数中斜率保持恒定段的函数值作为待测微结构的刚度。本发明克服了现有测量方法和仪器无法精准测量大高径比微米级结构刚度的问题。
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