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摘要
[目的]本研究旨在通过自动化采集薄膜生长数据,从而提高薄膜数据采集的效率,大幅加快薄膜研究及工艺摸索。[应用背景]随着薄膜技术的不断发展和应用,需要对薄膜生长过程进行深入的研究,以便更好地理解薄膜生长的机制。然而,目前的薄膜生长研究往往依赖于手动采集数据,存在效率低下和数据误差较大的问题。[方法]为了解决这些问题,我们研发了电子实验记录本来规范数据采集,并通过自编采集程序实现了从薄膜合成和测试设备上对整个实验过程数据的全自动化采集方法。[结论]该方法实现了对薄膜生长过程的高精度、高效率、无人工干预的实时监控和数据采集,为进一步研究薄膜生长机理和开发新型薄膜提供了实验基础和理论指导。
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