基于MEMS的微热板结构仿真优化研究

作者：沈伟强; 杨俊超; 马薇; 张根伟; 杨杰^*; 曹树亚^*

来源：传感器与微系统, 2021, 40(12): 17-21.

DOI：10.13873/J.1000-9787(2021)12-0017-05

• 气体传感器
• 有限元仿真
• 微机电系统
• 微热板
• 结构优化

金属氧化物半导体气敏传感器是气体传感器领域研究的热点内容,而微热板作为金属氧化物半导体气体传感器的重要组成部分之一,对微热板结构及稳态热特性的研究至关重要。为了研究不同结构参数对微热板性能的影响,为微热板的设计优化提供指导,基于微机电系统(MEMS)工艺技术,设计了一种悬浮式结构微热板,对微热板支撑层和隔离层的材料组成、膜层厚度等因素进行了仿真研究。根据仿真结果,分析上述因素对微热板性能的影响趋势,得出了最优的参数设计。