应用于数字光刻机的DMD数据处理及控制系统

作者：陈海巍

来源：现代信息科技, 2023, 7(18): 129-132.

DOI：10.19850/j.cnki.2096-4706.2023.18.026

• DMD
• 数字光刻
• 扫描
• 数据处理
• 控制

无掩膜数字光刻机已在PCB光刻及半导体光刻领域逐渐开始应用，相比传统掩膜式光刻机，可缩减光刻流程，节省光刻成本，使光刻数据在线实时调整变得更为简单。而DMD（数字微镜器件）目前作为数字光刻机常用的一种SLM（空间光调制）图形发生器，对其所需要进行的数据处理及控制较为关键。会直接关系到数字光刻机的曝光效率和产能。文章从DMD的驱动控制原理，探讨研究DMD在数字光刻机中的数据处理和控制流程、方法，实现较高的设备光刻效率。