金刚石线切割多晶硅片的表面织构研究

作者：OUTHONGKHAM Mekoutan; 廖华^*; 李景天

来源：云南师范大学学报(自然科学版), 2019, 39(02): 25-30.

• 多晶硅
• 金刚石线锯
• 酸刻蚀
• 制绒
• 反射率

采用HNO3 :HF:H2O=5:1:3.4和HNO3 :HF:H2O=8:1:3.4两种腐蚀液体系,研究了HNO3浓度、腐蚀液温度、腐蚀时间对金刚石切割多晶硅片表面腐蚀的影响,分析了制绒后的多晶硅表面形貌与表面反射率的关系.实验结果表明:HNO3 :HF:H2O=5:1:3.4腐蚀液体系优于HNO3 :HF:H2O=8:1:3.4腐蚀液体系;在HNO3 :HF:H2O=5:1:3.4腐蚀液体系,腐蚀液温度为9℃,腐蚀时间为100 s的条件下,获得均匀的表面刻蚀纹,具有较低的表面反射率,其平均反射率低于19%.

• 单位
  云南师范大学